国产成人av一区二区三区不卡,亚洲国产成人精品无码区宅男,中文在线а天堂中文在线新版,中文字幕永久精品国产,国产萌白酱喷水视频在线观看,国产好爽…又高潮了毛片,少妇精油按摩高潮,制服 丝袜 人妻 专区一本,成人国产一区二区三区,日本国产在线观看

產(chǎn)品分類

products category

產(chǎn)品中心/ products

您的位置：首頁  -  產(chǎn)品中心  -  儀表，電子設(shè)備  -  ulvac-kiko  -  UR421-T/UR1200/UR3601-TTulvac-kiko真空泵 油回轉(zhuǎn)泵 多級羅茨型干泵 真空螺桿泵

ulvac-kiko真空泵 油回轉(zhuǎn)泵 多級羅茨型干泵 真空螺桿泵

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。
ulvac-kiko真空泵 油回轉(zhuǎn)泵 多級羅茨型干泵UR421-T/UR1200/UR3601-TT

  • 產(chǎn)品型號：UR421-T/UR1200/UR3601-TT
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2023-04-11
  • 訪  問  量：861
立即咨詢

聯(lián)系電話：

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌性能耐腐蝕
材質(zhì)其他驅(qū)動方式其他
流量01m3/h

ulvac-kiko真空泵  油回轉(zhuǎn)泵 多級羅茨型干泵UR421-T/UR1200/UR3601-TT

ulvac-kiko真空泵  油回轉(zhuǎn)泵 多級羅茨型干泵UR421-T/UR1200/UR3601-TT

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點

  • 高溫區(qū)域均熱化
    實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
    UR系列可比HR系列更加高溫化。

  • 氦氣密封
    通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

  • 瞬停對策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通信功能
    可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

  • CVD裝置

  • 蝕刻裝置

  • 灰化裝置

  • ALD、ALH 等

規(guī)格

型號UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
機械增壓泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排氣速度		50Hz410 m3/h
(6833 L/min)		653 m3/h
(10883 L/min)		1012 m3/h
(16867 L/min)		1701 m3/h
(28350 L/min)		2700 m3/h
(45000 L/min)
到達(dá)壓力
5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）大氣壓
最大排氣口壓力
（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口VG50
NW40
NW50
質(zhì)量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
電源 *2三相180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)		200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)		39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)		68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷卻水流量>5.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 Mpa
二次壓力0.05~0.1 Mpa
N2吹掃軸5 SLM
氣鎮(zhèn)0~195 SLM0~45 SLM0~195 SLM0~195 SLM


在線咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細(xì)地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

關(guān)于我們
聯(lián)系我們
產(chǎn)品中心
掃一掃
加微信
版權(quán)所有©2025 深圳九州工業(yè)品有限公司 All Rights Reserved   備案號：粵ICP備2023038974號   sitemap.xml   技術(shù)支持：環(huán)保在線   管理登陸
精品综合久久久久久97| 免费在线观看国产v片| 人妻少妇456在线视频| 日韩理论午夜无码| 亚洲性影院| av大片| 精品久久精品午夜精品久久| 女人扒开腿让男桶喷水高潮的软件 | 人妻精品无码一区二区三区 | 音影先锋色天堂av电影妓女久久 | 99久久精品免费看国产电影| 亚洲永久精品ww47永久入口| 亚洲综合最新无码2020av| 亚洲熟女av综合网五月| 亚洲一区二区高清精品| 亚洲成人精品女人久久| 国产一区国产精品自拍| 国产精品综合av一区二区国产馆 | 精品亚洲国产成人av制服| 国产自产av一区二区三区性色| 国产免费羞羞视频| 呦系列视频一区二区三区| 精品无码av一区二区三区不卡| 亚洲精品第一国产综合精品| 无码不卡免费一级毛片视频| 亚洲国产码专区| 天堂中文8资源在线8| 花式道具play高h文调教| 99中文字幕精品国产| 一本大道香蕉中文日本不卡高清二区| 日韩精品一区二区亚洲av性色| 国产亚洲AV无码一区二区二三区 | 人妻用嘴含精大口吞精| 一区二区免费视频中文乱码| 无码av最新无码av专区| 少妇AV| 亚洲精品一区国产精品| 国产女主播高潮在线播放| 国产又色又爽又黄的在线观看| 99JK无码免费| 亚洲国产欧洲精品路线久久|