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更新時(shí)間：2023-12-08 
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緊湊型光纖探頭
可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中
膜厚測(cè)量0.1nm (3o) 的重復(fù)性好
可測(cè)量多達(dá)9層的多層膜厚度
使用旋涂機(jī)檢測(cè)終點(diǎn)的視頻
可選擇光源
光源
白光LED
鎢合金
Deuterlum鹵素
波長范圍(nm)
430-700
400-900
220900
無線 (選項(xiàng))
包含膜厚終點(diǎn)檢測(cè)軟件
靶厚度范圍 (nm)典型使用壽命 (小時(shí))
50--50,000
50--50,000
10--30,000
>50.000
10,000
1,000
電影1:終端監(jiān)視器的演示1
電影2:終端監(jiān)視器的演示2
材料分析功能
用EMA評(píng)價(jià)復(fù)合材料的混合比
自動(dòng)映射階段 (選件)
結(jié)晶度與光學(xué)常數(shù)分析
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